仕事をしているとあらゆる部分で自動化の重要性を実感します。セットアップや設定、復旧など様々な場面で人の手を使わずにひとりでに作業が進むと、人為的なミスが減ったり業務の効率化が図れるわけなのですが、その導入コストや必要性などで様々なハードルがあるのもまた事実だったりします。
さて今回ご紹介するのはローツェ株式会社です。こちらの会社はウエハ搬送装置を主力製品としており、それ以外にも 液晶用ガラス基板搬送装置やモータ制御装置等の開発・製造を行うメーカーです。さて、ウエハ搬送装置と出てきましたが、ウエハが何のことなのか皆さんはご存知でしょうか。
ウエハは私たちの生活に欠かせないあらゆる電子製品に搭載されている半導体に欠かせない材料です。半導体を細分化するとチップが入っているのですが、ウエハはこれらを搭載するための基板となっております。ウエハ自体は硅石から出来ており、薄い円盤型をしております。これの上に半導体チップが搭載され切り出されることで、皆さんが想像する黒くて四角い部品となるのです。
当然人の手によってウエハの上に回路を築くことは困難ですので、作業は機械によって自動化されています。ただ、一つの機械によってすべての作業をこなすのは効率的ではないので、一連の作業は様々な種類の機会によって行われます。この機械と機械の間を移動するための装置が、今回出てきたウエハ搬送装置というわけです。
ウエハの厚みは1mmと（場合によってはもっと薄い）非常に薄く繊細であることに加え、集積回路の性質上塵の混入にも非常に弱いので、ローツェ株式会社はそれに耐えうる高信頼性や低発塵性を持ったウエハ搬送装置を開発する技術力があるのですね。